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SECS Serial Loggerについて

SECS Serial Logger (Monitor) は、Windows(R)版 の半導体装置間通信プロトコル(SECS(HSMS)) の通信データをロギング(モニター)するソフトウェアです。 【特徴】 SECS Serial Logger (Monitor) には、以下の特徴があります。 SECS通信プロトコルは、SECS-Iにのみ対応しています。HSMS(HSMS-SS)には対応し ...(more...)