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SECS Packet Logger (Monitor)
は、Windows(R)版 の半導体装置間通信プロトコル(SECS(HSMS)) の通信パケットをロギング(モニター）するソフトウェアです。
【特徴】
SECS Packet Logger (Monitor)
には、以下の特徴があります。
SECS通信プロトコルは、HSMS(HSMS-SS)にのみ対応しています。SECS-Iには対応 ...(more...)